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    腐蝕性氣體分析質譜儀

    簡要描述:腐蝕性氣體分析質譜儀 HPR-80( Reactive/Corrosive Species Analyzer)是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導體、真空過程研究而設計的儀器,快速、定量分析活潑性、腐蝕性氣體,如反應中間產物,HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等強腐蝕性與半導體工藝氣體。

    • 產品型號:HPR-80
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2022-02-14
    • 訪  問  量:1227
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    詳細介紹
    品牌其他品牌最小檢測分壓5E-14 mbar
    檢測限5ppb質量數范圍510amu
    價格區間100萬-150萬產地類別進口
    應用領域化工,電子,冶金,航天,電氣

    20年前,Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學雜志發布了HPR-80 腐蝕性氣體分析質譜儀,初期主要應用于半導體行業的特氣檢測,如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等,強腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等,強氧化性氣體如CIF3、NF3等。

    ?20年來,Hiden在這一細分領域具有強大的產品力,針對不同程度的腐蝕氣體分析,提供不同的解決方案。

    HPR-80 腐蝕性氣體分析質譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體,HF,HCl,HBr和鹵代烴氣體工藝產生的反應產物。?

    主要特點:

    1、連接件電拋光工藝處理
    2、取樣壓力: 1mTorr to 1000Torr
    3、高靈敏度三級過濾四極桿
    4、檢測限可達 5 ppb
    5、QGA專業版定量分析軟件
     
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