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    活潑性/腐蝕性氣體分析儀

    簡要描述:HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導體、真空過程研究而設計的儀器??煽焖?、定量分析活潑性、腐蝕性氣體混合物。

    • 產品型號:HPR-80
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2021-09-03
    • 訪  問  量:1880
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    詳細介紹
    品牌其他品牌產地類別進口
    應用領域綜合

    HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀應用:


    • 等離子體/反應性離子蝕刻研究
    • CVD / PVD / MOCVD
    • 半導體晶片加工研究
    • 真空、等離子體過程
    • 活性物質定量分析
    • HF,HCl,HBr,CFC 研究

    HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀特點:


    • 加熱的電拋光波紋管,快速偶合連結器
    • 可清除的,帶粘性流QIC校正的進樣口用于定量分析
    • 高靈敏度至 5 ppb, 質量數為 2500 amu.
    • 進樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
    • 電容壓力計,壓力檢測可不受分析物影響
    • 穩定性好 (24h之上,小于峰高±0.5% )
    • 軟件 MASsoft 控制
    • 矩陣反演,歸一化及單峰參考

     

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