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    離子蝕刻探針-終點檢測儀

    簡要描述:IMP(Ions Milling Probe)離子蝕刻探針-終點檢測儀是自帶差式泵的耐用的二次離子質譜儀,*的專業檢測終點儀器。用于離子蝕刻控制以及優化工藝。適用于離子刻蝕過程中的二次離子和中性粒子分析。

    • 產品型號:IMP-EPD
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2021-09-03
    • 訪  問  量:1639
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    品牌其他品牌產地類別進口
    應用領域能源,電子,航天,汽車,電氣

    離子蝕刻探針-終點檢測儀

    應用:
    · 終點檢測
    · 靶的純度測定
    · 質量控制/SPC
    · 殘余氣體分析
    特點:
    · 高靈敏度的SIMS/MS,帶脈沖離子計數檢測器
    · 離子光學透鏡、能量分析器和離子源
    · 真空規和安全互鎖裝置提供過壓保護
    · 軟件MASsoft通過RS232、RS485或以太網控制
    · 可編程的DDE,平行數字數據I/O,RS232腳本通訊

     

    應用:
    · 終點檢測
    · 靶的純度測定
    · 質量控制/SPC
    · 殘余氣體分析
    特點:
    · 高靈敏度的SIMS/MS,帶脈沖離子計數檢測器
    · 離子光學透鏡、能量分析器和離子源
    · 真空規和安全互鎖裝置提供過壓保護
    · 軟件MASsoft通過RS232、RS485或以太網控制
    · 可編程的DDE,平行數字數據I/O,RS232腳本通訊

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