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    等離子體質量和能量分析儀

    簡要描述:Hiden EQP 等離子體質量和能量分析儀是一臺結合質量和能量分析的儀器(Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics),用于分析等離子過程中陰、陽離子、中性粒子以及自由基。

    • 產品型號:EQP
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2021-09-03
    • 訪  問  量:1992
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    詳細介紹
    品牌其他品牌價格區間面議
    產地類別進口應用領域綜合

    Hiden EQP 等離子體質量和能量分析儀應用:

    · 刻蝕 / 沉積作用研究
    · 離子植入 / 激光燒蝕
    · 殘余氣體分析 / 泄漏檢測
    · 等離子體電極耦合,即在操作中遵從電極設定條件
    · 通過視口、接地電極和驅動電極進行分析

    Hiden EQP 等離子體質量和能量分析儀特點:

    · 軟件控制的離子汲取光學系統,以使等離子體擾動z小
    · 45°靜電扇區分析器,掃描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
    · 所有能量范圍內,離子行程的z小擾動,及恒定離子傳輸
    · 帶差式泵的三級過濾四極桿,質量數范圍至2500amu
    · 高靈敏度 / 穩定的脈沖離子計數檢測器,有7個數量級的動態范圍
    · 可調諧的離子源,用于電子附著選件的表觀電勢質譜分析
    · Penning規和互鎖裝置可提供過壓保護
    · 信號選通分辨率1μs,用于研究脈沖等離子體或能量、質量分布隨時間的變化
    · 1000eV 選配, 漂浮電壓可選至10keV, Faraday 杯用于高密度等離子體
    · Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可選,高壓操作可選
    · 通過RS232、RS485或Ethernet LAN,控制軟件MASsoft。 

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