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    看完這篇文章,瞬間了解四極質譜儀

    發布時間:2021-12-14瀏覽:460次

      四極質譜儀用于監控過程氣體和基本真空條件的工具是Transpector XPR3L氣體分析系統提供的經濟高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 過程監控解決方案可以實時提供有關過程氣體壓力、氣體比率、污染級別、雜質和泄漏情況的信息。此信息可用于大限度提高過程良率和產品質量。XPR3L 提供的本底監控解決方案可以通過快速檢測和診斷泄漏及污染,提高預防性維護程序的有效性和效率。
     
      一、四極質譜儀的功能:
     
      通過運行高達 10mTorr(可選 20mTorr)的 UHV,提供經濟實惠的雙用功能、過程監控和基本真空保證;
     
      經濟高效的過程監控器,可用于可擴展的生產設計;
     
      通過持續自動監控過程氣體壓力、氣體比率和可能存在的污染或雜質,提高過程良率,減少碎片,提高產品質量;
     
      通過以高靈敏度和較小可檢分壓強驗證基本真空條件、查找泄漏以及鑒別污染,加快 PM 恢復,提高生產力;
     
      可在 1 - 100 amu 質量范圍內運行,能夠檢測各種材料、污染或副產品,確保您的投資安全,降低投資風險;
     
      與 FabGuard 監控和分析系統相兼容,提供可靠、先進的診斷和過程控制。
     
      二、四極質譜儀的典型應用:
     
      太陽能/光伏設備制造
     
      LCD 制造
     
      PVD 過程監控
     
      監控過程氣體壓力和氣體比率
     
      暴露和鑒別污染
     
      檢測和查找泄漏(空氣、氦氣、水及其他蒸汽)
     
      PM 恢復/故障排除和驗證基本真空

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